Ар13-сф112     Ноженков, М. В.     Научные основы расчета и выбора режимов формирования в вакууме защитных покрытий со сверхнизким трением [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 / М. В. Ноженков. - М., 2013. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-32 ГРНТИ 47.13 УДК 621.384-047.84(043) Кл.слова (ненормированные): предприятия электронной промышленности -- вакуумное оборудование -- защитные покрытия Экземпляры всего 1: СФ (1) Свободны: СФ (1)