|
|
Ар11-31096
Вересов, О. Л.
Плазменные источники ионов на базе разрядов с ненакаливаемыми катодами в магнитном поле [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.02 / О. Л. Вересов. - СПб., 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (17 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
электронно-ионная обработка -- оборудование -- ионные источники
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|