|
|
Ар13-6354
Сладкопевцев, Б. В.
Влияние методов формирования структур VxOy/InP на особенности их термооксидировния и состав пленок [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.01 / Б. В. Сладкопевцев. - Воронеж, 2013. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (19 нзв.)
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрические пленки -- термическое оксидирование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|