Ар13-2811     Вальковский, Г. А.     Исследование структуры интерфейсов многослойных систем методами малоугольного рентгеновского рассеяния [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Г. А. Вальковский. - СПб., 2013. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ 47.01.81 УДК 621.3.049.76:620.179.15(043) Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- многослойные системы -- неразрушающие методы исследования Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)