|
|
Ар13-1082
Медведев, В. В.
Разработка методов спектральной фильтрации для источников экстремального ультрафиолетового излучения на основе лазерной плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.05 / В. В. Медведев. - Троицк , 2012. - 15 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-15
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- ультрафиолетовое излучение
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|