|
|
Ар12-23291
Юшков, Ю. Г.
Форвакуумный импульсный плазменный источник электронов для модификации поверхности диэлектрических материалов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.20 / Ю. Г. Юшков. - Томск, 2012. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-17 (24 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрические материалы -- обработка плазменная
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|