|
|
Ар12-22890
Капинос, С. П.
Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия [Текст] : автореф. дис. ... канд. хим. наук : 02.00.04 / С. П. Капинос. - Иваново, 2012. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (9 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
арсенид галлия -- плазменное травление
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|