Корпухин, А. С. Методы получения и характеристики полиимид-кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / А. С. Корпухин. - М., 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19 (12 назв.)