|
|
АР94-5041
Муратчаев, С. А.
Моделирование и разработка технологических процессов и маршрутов формирования самосовмещенных биполярных транзисторных структур для сверхбыстродействующих СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / С. А. Муратчаев. - М., 1994. - 24 с.
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники (техн.ун-т). Библиогр.: с.23-24(9 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|