Ар12-16870     Родякина, Е. Е.     Морфология поверхности кремния при закалке и сублимации [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Е. Е. Родякина. - Новосибирск, 2012. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ 31.17.15 УДК 546.28:541.183(043) Кл.слова (ненормированные): кремний -- поверхностные явления -- собственные точечные дефекты -- эпитаксиальные технологии Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)