Ар12-16303

    Корчагина, Т. Т.
    Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / Т. Т. Корчагина. - Новосибирск, 2012. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
диэлектрические пленки -- лазерная обработка -- формирование нанокластеров кремния -- наноэлектроника -- оптоэлектроника

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)