|
|
Ар12-13690
Белаш, А. О.
Разработка оборудования для экспресс-анализа концентраций примесей в полупроводниковых материалах методом статической фурье-спектроскопии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. О. Белаш. - СПб., 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 19 (4 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
фурье спектрометры -- полупроводники -- параметры -- измерение -- технический контроль
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|