|
|
Ар12-13046
Юдина, А. В.
Физико-химические процессы в неравновесной низкотемпературной плазме смесей HCl с инертными (Ar, He) и молекулярными (H2, Cl2) газами [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 02.00.04 / А. В. Юдина. - Иваново, 2012. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (10 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
микроэлектронные приборы -- производство -- плазмохимическое травление -- параметры плазмы
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|