|
|
Ар12-11205
Кравченко, А. А.
Исследование и разработка щелевого реактора с удлиненным подложкодержателем для эпитаксиального наращивания кремния на одиночных подложках [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. А. Кравченко. - М., 2012. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25 (12 назв.)
Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- производство -- оборудование
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|