Ар12-10485     Орешков, М. В.     Разработка измерительного комплекса для контроля и использования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.10 / М. В. Орешков. - М., 2012. - 19 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-19 ГРНТИ 47.01.81 УДК 621.3.049.771.14-047.84(043) Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы большие -- производство -- технический контроль -- измерительный комплекс Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)