|
|
Ар12-4409
Песков, В. В.
Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / В. В. Песков. - Фрязино, 2012. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-25
Кл.слова (ненормированные):
наноэлектронные приборы -- производство -- травление
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|