|
|
Ар11-23490
Полищук, Г. С.
Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / Г. С. Полищук. - СПб., 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 21 (5 назв.)
В надзаг.:С.-Петербург. исслед. ун-т информац. технологий, механики и оптики
Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- микроскопы -- оптические системы
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|