Ар11-23039     Дайнеко, А. В.     Процессы формирования пьезокерамических микроструктур на поверхности монокристаллического кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / А. В. Дайнеко. - Тверь, 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (7 назв.) ГРНТИ 45.53 УДК 621.31-181.4-047.84(043) Кл.слова (ненормированные): микроэлектромеханические системы -- сегнетокерамические пленки -- кремниевые пластины -- производство -- автоматизация -- моделирование Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)