Ар11-21103     Феклистов, К. В.     Преципитация бора в кремнии при имплантации и отжиге: расслоение на стадии оствальдовского созревания [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / К. В. Феклистов. - Новосибирск, 2011. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18 ГРНТИ 47.13.11 УДК 621.315.592:669.046.516(043) Кл.слова (ненормированные): кремний -- бор -- легирование -- отжиг -- расслоение ансамбля преципитатов -- моделирование Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)