Ар11-13634
Ковалев, В. И.
Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 01.04.01 / В. И. Ковалев. - Фрязино , 2011. - 33 с. : ил. - Библиогр.: с. 27-33
ГРНТИ
29.31.29
УДК
681.785.35(043)
Кл.слова (ненормированные):
эллипсометрия
--
поляризационная оптика
--
бинарные модуляторы состояния поляризации
--
фазосдвигающие элементы
--
спектральные эллипсометры
Экземпляры всего
1: ХР (1)
Свободны:
ХР (1)