Ар11-17083     Шаронов, В. А.     Взаимодействие электронных и механических зондов с рельефной поверхностью в нанометровом диапазоне [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.04 / В. А. Шаронов. - Долгопрудный, 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-21 В надзаг.: Моск. физико-техн. ин-т (гос. ун-т) ГРНТИ 47.13.11 УДК 621.38-022.532(043) Кл.слова (ненормированные): наноэлектроника -- нанотехнологии -- твердые тела -- нанорельеф поверхности -- геометрические параметры -- электронные зонды -- механические зонды -- растровые электронные микроскопы -- атомно-силовые микроскопы Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)