Ар11-15236
Щелканов, И. А.
Сильноточный импульсный магнетронный разряд с автоускорением плазмы [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / И. А. Щелканов. - М., 2011. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 20-22
ГРНТИ
55.22.19
УДК
621.793.182(043)
Кл.слова (ненормированные):
металлические покрытия
--
катодное распыление
--
высокоскоростная технология
--
магнетронный распылительный узел
--
температурное поле
--
тепловая модель катода
Экземпляры всего
1: ХР (1)
Свободны:
ХР (1)