Ар11-11622     Малыхин, Е. М.     Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08 / Е. М. Малыхин. - М., 2011. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 23-24 ГРНТИ 47.13.35 УДК 621.3.049.771.14-047.84(043) Кл.слова (ненормированные): оптическая литография -- ультрафиолетовое излучение -- интегральные схемы сверхбольшие -- литографы -- многослойные зеркала -- срок службы -- загрязнение -- очистка -- физические механизмы -- взаимодействие плазмы с поверхностью Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)