Ар11-9513     Гольденберг, Б. Г.     Создание LIGA-технологического комплекса на источнике синхротронного излучения ВЭПП-3 [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.01 / Б. Г. Гольденберг. - Новосибирск, 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 14-16 (15 назв.) ГРНТИ 47.13.11 УДК 621-181.4(043) Кл.слова (ненормированные): рентгеновская литография -- технологические режимы -- микрофлюидные системы -- микрооптические элементы -- микроструктурированные сеточные фильтры -- терагерцевое излучение -- спектральная селекция Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)