Ар11-сф10758     Усикова, М. А.     Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / М. А. Усикова. - СПб., 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (9 назв.) ГРНТИ 47.33.31 УДК 621.3.049.77(043) Кл.слова (ненормированные): кремниевые интегральные схемы -- топологический анализ -- физико-химические методы -- послойное препарирование -- сохранение работоспособности Экземпляры всего 1: СФ (1) Свободны: СФ (1)