Мустафаев, М. Г. Повышение эффективности управления технологическим процессам формирования структур интегральных элементов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / М. Г. Мустафаев. - Владикавказ, 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (15 назв.)