Ар11-4385

    Протопопов, Г. А.
    Устойчивость атомарной структуры оксида кремния после радиационно-термической обработки МОП приборов [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / Г. А. Протопопов. - М., 2011. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 23 (11 назв.)

ГРНТИ
УДК

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые приборы -- радиационная стойкость -- радиационно-термическая обработка

Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)