Серегин, Д. С. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Д. С. Серегин. - М., 2011. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 (17 назв.)