Ар10-28792     Новиков, В. А.     Исследование морфологии и электронных свойств поверхности пленок AIIIBV и контактов металл/AIIIBV методом атомно-силовой микроскопии [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / В. А. Новиков. - Томск, 2010. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 17-18 ГРНТИ 47.13.11 УДК 621.315.592.9-047.84(043) 621.382.2.018.756-047.84(043) Кл.слова (ненормированные): контакт металл-полупроводник -- диоды Шоттки -- производство -- технический контроль -- атомно-силовая микроскопия -- подложки -- поверхность -- морфология -- эпитаксиальные пленки -- электронные свойства Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)