Ар10-29038
Нечаев, М. А.
Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.03 / М. А. Нечаев. - Томск, 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.)
ГРНТИ
55.22.19
УДК
621.793.14.06-52(043)
Кл.слова (ненормированные):
магнетронное вакуумное напыление
--
сканирование
--
управление
--
электропривод
--
математическое моделирование
Экземпляры всего
1: ХР (1)
Свободны:
ХР (1)