Ар10-29038     Нечаев, М. А.     Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.03 / М. А. Нечаев. - Томск, 2010. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.) ГРНТИ 55.22.19 УДК 621.793.14.06-52(043) Кл.слова (ненормированные): магнетронное вакуумное напыление -- сканирование -- управление -- электропривод -- математическое моделирование Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)