АР09-10886     Аношкин, Ю. В.     Технология получения резистивных структур на низкоразмерном уровне [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 / Ю. В. Аношкин. - Пенза, 2009. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-24 (17 назв.) ГРНТИ 47.59.33 УДК 621.316.849-047.56(043) Кл.слова (ненормированные): резисторы пленочные -- производство -- хромоникелевые сплавы -- технологические режимы -- резистивные пленки -- параметры -- деградация -- стабильные параметры -- воспроизводимость Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)