Ар10-25723     Горшкова, Е. В.     Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:Н и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Е. В. Горшкова. - М., 2010. - 28 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-27 ГРНТИ 29.19.31 УДК 537.311.322(043) Кл.слова (ненормированные): дифференциальная сканирующая калориметрия -- неупорядоченные полупроводники -- аморфный гидрогенизированный кремний -- сплавы с фосфором -- сплавы с германием -- термоциклирование Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)