Ар10-24563     Аминев, Д. Ф.     Гетероструктуры поликристаллический алмаз/кремний: тепловые свойства структуры и модификация кремния при осаждении алмаза [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / Д. Ф. Аминев. - М., 2010. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21 В надзаг.: Физический ин-т им. П.Н. Лебедева РАН ГРНТИ 47.33 УДК 621.315.592.9(043) Кл.слова (ненормированные): гетероструктура -- плазмохимический процесс -- тепловые свойства -- алмазная пленка -- углеводородная плазма -- кремниевая подложка -- подготовка поверхности Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)