Ар10-21536     Перинская, И. В.     Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистой литографии и защиты от коррозии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.09.10 / И. В. Перинская. - Саратов, 2010. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-17 (13 назв.) ГРНТИ 47.33.31 47.01.97 УДК 621.3.049.77.029.6-047.84(043) 621.3.049.76:620.197(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)