|
|
Ар10-14899
Колпаков, В. А.
Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы [Текст] : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук : 01.04.01 / В. А. Колпаков. - Самара, 2010. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-32 (54 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|