Ар10-4278     Фам Куанг Тунг     Метод формирования регулярной матрицы нанокластеров кремния в системе "кремний - диоксид кремния" для элементов и устройств вычислительной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.05 / Фам Куанг Тунг. - СПб., 2009. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22 (10 назв.) ГРНТИ 47.09.29 УДК 621.315.592-025.27(043) 004.3-03(043) Экземпляры всего 1: ХР (1) Свободны: ХР (1)