|
|
Ар09-2464
Матузов, А. В.
Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. В. Матузов. - СПб., 2008. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16(7 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|