|
|
Ар09-459
Митченко, И. С.
Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / И. С. Митченко. - Ставрополь, 2008. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-22(19 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|