Ар08-7748

    Новиков, А. А.
    Эллипсометрия поверхностных слоев элементов оптоэлектроники, модифицированных ионными и электронными пучками [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.11.07 / А. А. Новиков. - СПб., 2008. - 27 с. : ил. - Библиогр.: с. 26-27(13 назв.)
В надзаг.: С.-Петерб. гос. ун-т информ. технологий, механики и оптики

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)