Ар08-1097

    Алексейчук, А. В.
    Исследование процесса изготовления кантилевера с улучшенными характеристиками для сканирующей зондовой микроскопии [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. В. Алексейчук. - М., 2007. - 20 с. : ил. - Библиогр.: с. 18-19(10 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)