|
|
АР93-7292
Данилин, А. Б.
Закономерности фазообразования в имплантированном ионами кремнии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.10 / А. Б. Данилин. - М., 1993. - 36 с. : ил
В надзаг.: Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). Библиогр.: с.33-36(31 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|