|
|
Ар07-4685
Хидиров, М. С.
Разработка плазмохимических методов получения полупроводниковых карбидных и нитридных пленок и порошков [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.04 / М. С. Хидиров. - Душанбе, 2006. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 22 (5 назв.).
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|