Ар07-2040

    Сергиенко, А. А.
    Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / А. А. Сергиенко. - М., 2006. - 25 с. : ил. - Библиогр.: с. 24-25 (8 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)