|
|
Ар07-1141
Пестов, А. Е.
Развитие диагностических методов для задач проекционной литографии 13,5 нм [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.01 / А. Е. Пестов. - Н. Новгород, 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 15-18.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|