|
|
АР93-5402
Макарова, Т. Л.
Эллипсометрическая диагностика структур полупроводник-окисел [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Т. Л. Макарова. - СПб., 1993. - 18 с
В надзаг.: Рос. АН, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе, ЦНИИ "Электрон". Библиогр.: с.16-18 (18 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|