|
|
Ар07-500
Хоботнев, О. Ю.
Математическая модель формирования сплошных тонких пленок центрифугированием в производстве элементной базы микроэлектроники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.18 / О. Ю. Хоботнев. - Воронеж, 2006. - 18 с. - Библиогр.: с. 16-18 (16 назв.). - 100 экз.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|