Ар06-10774

    Сабирзянов, Н. Р.
    Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.04.03 / Н. Р. Сабирзянов. - М., 2006. - 20 с : ил. - Библиогр.: с. 19-20(9 назв.)

ГРНТИ
УДК


Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)