|
|
Ар06-10248
Тягинов, С. Э.
Влияние неоднородности толщины диэлектрика на свойства туннельных МОП структур Al(1-4 нм)SiO2/Si [Текст] : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.10 / С. Э. Тягинов. - СПб., 2006. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 16-18
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|