|
|
Ар06-8470
Леонов, Л. Б.
Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники [Текст] : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Л. Б. Леонов. - М., 2006. - 22 с. - Библиогр.: с. 21-22 (23 назв.). - 100 экз.
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|