|
|
АР93-04208
Кононов, В. Ю.
Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.07 / В. Ю. Кононов. - М., 1993. - 27 с. : ил
В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники(техн.ун-т). Библиогр.: с.26-27(12 назв.)
Экземпляры всего 1: ХР (1)
Свободны: ХР (1)
|
|